Bake Unit
Bake and Cooling Unit
Chamber Cover Heater
제품 이미지
8 inch Hot Plate
제품 사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 크기 | 6", 8", 12" |
| 재질 | AL 6061 |
| 히터타입 | 시즈히터 |
| 온도센서 | PT 100Ω(DIN A CLASS) |
| 사용온도 | MAX 400℃ |
제품 이미지
4 inch Bake and Cool Plate
제품 사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 크기 | 4", 6", 8" |
| 재질 | AL 6061/SUS 304 |
| 히터타입 | 시즈히터/마이카히터 |
| 냉각방식 | 칠러 항온수 사용 |
| 온도센서 | PT 100Ω(DIN A CLASS) |
| 사용온도 | MAX 상온~400℃ |
제품 이미지
12 inch Chamber Cover Heater assy LCD Bake chamber cover mica heater
제품 설명
공정 중 wafer, 또는 glass 표면의 온도 균일도가 중요시 되는
공정에 사용되는 cover heater로써 chamber 내부의 분위기 온도를
빠르게 형성 시켜주며 wafer 및 Glass 표면의 온도를
균일하게 유지시켜주는 보조열원으로써 사용됩니다.
해당 제품의 사양은 고객께서 사용하고자 하는 온도,
chamber의 기구적인 특성을 고려하여 설계되는 제품으로
제작문의는 당사 홈페이지 견적문의 페이지 또는 전화 문의 바랍니다.
Shutter Heater
제품 이미지
Shutter mica heater LCD Bake oven shutter assy
제품 사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 크기 | G5~G8 |
| 히터타입 | 마이카히터 |
| 사용온도 | MAX 100℃ |
| 열변형 | 3mm 이내 |
Clean Heater
(LCD chamber 기체 가열기)
제품 이미지
온도 특성 및 제품 사양
- 온도특성
- 제품사양
항목 내용 용량 900W~4500W 재질 SUS304, SUS316 표면처리 하드 아노다이징 히터타입 시즈히터 사용온도 MAX 상온~350℃ 내압 5Kg / ㎠